[发明专利]一种位敏阳极探测器及其制作方法有效
| 申请号： | 201911301044.7 | 申请日： | 2019-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN111024226B | 公开（公告）日： | 2023-08-18 |
| 发明（设计）人： | 刘永安;盛立志;苏桐;杨向辉;刘哲;强鹏飞;赵宝升;田进寿 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42;H01J40/04;H01J40/16 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 董娜 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种位敏阳极探测器及其制作方法，解决现有位敏阳极探测器容易漏气导致器件无法使用，增加后续电子学处理难度的问题。该探测器包括管壳壳体、微通道板组件、位敏阳极组件、带有光阴极的输入窗，位敏阳极组件包括上层阳极接收面板、下层阳极接收面板及引线电极；上层阳极接收面板和下层阳极接收面板平行间隔设置；上层阳极接收面板包括上层绝缘基底和上层金属电极，与上层金属电极收集区域内微带线间部分对应的上层绝缘基底区域为镂空；下层阳极接收面板包括下层绝缘基底和下层金属电极，下层金属电极的微带线结构与上层金属电极的微带线结构在异层平面上呈垂直交叉，引线电极包括2个上引线电极、2个下引线电极。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阳极 探测器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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