[发明专利]一种清洗装置有效
| 申请号： | 201911301459.4 | 申请日： | 2019-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN111014169B | 公开（公告）日： | 2022-05-20 |
| 发明（设计）人： | 李在桓;史进 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B9/093;B08B13/00;B08B3/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;胡影 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种清洗装置，包括：清洗槽；清洗管，清洗管上设有多个喷水孔；支撑座，支撑座设在清洗槽的外部，支撑座内限定有容纳腔，清洗管在容纳腔的内部和外部之间可移动，清洗管位于容纳腔的外部时，清洗管可在第一位置与第二位置之间枢转活动，第一位置位于清洗槽的外部，第二位置位于清洗槽的内部。该清洗装置中的清洗管从容纳腔移出后能够清洗硅片，通过清洗管的枢转能对清洗槽的内壁进行清洗，能够高效清除残留在清洗槽内壁的异物，防止内壁上的异物对硅片造成污染，清洗后清洗管能够收纳于容纳腔中且位于清洗槽的外部，避免占用清洗槽的内部空间，避免外部对清洗管造成污染或损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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