[发明专利]管道清洁装置及管道清洁方法在审
| 申请号： | 201911302622.9 | 申请日： | 2019-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN112974418A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 张传洋 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/032 | 分类号： | B08B9/032 |
| 代理公司： | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人： | 成丽杰 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种管道清洁装置及管道清洁方法，本发明中，管道清洁装置，包括：目标管道，以及与目标管道相连接的至少一条进气管道；目标管道的一端与反应腔室相连接；进气管道用于向目标管道输送清洁气体以清洁目标管道；目标管道内设置有挡流装置，挡流装置的挡流面面对进气管道的出气口。通过与目标管道相连的进气管道向目标管道通入清洁气体，并通过挡流装置扰动气流使清洁气体充分地接触目标管道管壁，能够对目标管道进行彻底地清洁，避免目标管道中的残余物污染反应腔室中的样品。 | ||
| 搜索关键词： | 管道 清洁 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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