[发明专利]电容式超声换能器的制备方法及电容式超声换能器有效
| 申请号： | 201911304640.0 | 申请日： | 2019-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN112974197B | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 花慧;陶永春;党宁 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B06B1/02 | 分类号： | B06B1/02 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 张佳 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及超声换能器技术领域，公开了一种电容式超声换能器的制备方法及电容式超声换能器。其中，电容式超声换能器的制备方法，包括：在衬底基板上依次形成第一牺牲层和第二牺牲层，所述第一牺牲层的致密性小于所述第二牺牲层的致密性；在所述第二牺牲层上形成振膜层，并在所述振膜层中形成过孔；通过所述过孔对所述第一牺牲层和第二牺牲层进行刻蚀以形成空腔结构。上述制备方法，可以在保证电容式超声换能器的制备良率的前提下，大大减小形成电容式超声换能器的空腔结构的时间，从而提高电容式超声换能器的制备效率。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 超声 换能器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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