[发明专利]纳米压印结构、其控制方法、纳米压印装置及构图方法有效
| 申请号： | 201911308299.6 | 申请日： | 2019-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN110989293B | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 周雪原;张笑;李多辉;路彦辉;郭康;谷新;谭伟;刘震;赵晋 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 张佳 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种纳米压印结构、其控制方法、纳米压印装置及构图方法，通过在磁性连杆上设置轴承结构，并且将软膜板设置为环状软膜板，将环状软膜板套设在磁性连杆具有轴承结构的位置，通过控制轴承结构围绕磁性连杆转动，带动环状软膜板的压印图形在第二方向上运动，通过控制轴承结构在磁性连杆上滑动，带动环状软膜板的压印图形在第一方向上运动，从而设置一张环状软膜板，调节压印图形所在区域，即可完成对基板的构图，不仅解决了多张软膜板拼接造成的构图均一性的问题，也极大的节约了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 压印 结构 控制 方法 装置 构图 | ||
【主权项】：
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