[发明专利]一种基于石墨烯的混杂等离子波导在审
申请号: | 201911309163.7 | 申请日: | 2019-12-18 |
公开(公告)号: | CN113009620A | 公开(公告)日: | 2021-06-22 |
发明(设计)人: | 贺雪晴;周夏飞;宁提纲;裴丽;郑晶晶;李晶 | 申请(专利权)人: | 北京交通大学 |
主分类号: | G02B6/10 | 分类号: | G02B6/10 |
代理公司: | 北京市诚辉律师事务所 11430 | 代理人: | 杨帅峰 |
地址: | 100044 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明实施例提供一种基于石墨烯的混杂波导结构,包括:上半波导结构和下半波导结构;所述下半波导结构包括位于下层的低折射率电介质110和平铺在所述下层低折射率电介质的石墨烯120;所述上半波导结构包括位于石墨烯之上的低折射率电介质110和位于所述低折射率电介质110之上的高折射率电介质130;所述低折射率电介质110的宽度和高折射率电介质130的宽度均小于30μm;所述低折射率电介质110和高折射率电介质130的交界面处设置有向下凹陷的凹槽,凹槽内为高折射率电介质130;所述低折射率电介质110为高密度聚乙烯(HDPE),所述高折射率材料130为砷化镓(GaAs)。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 石墨 混杂 等离子 波导 | ||
【主权项】:
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