[发明专利]一种碱金属气室内湿度的控制系统及方法在审
| 申请号： | 201911309822.7 | 申请日： | 2019-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN111026177A | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 房建成;池浩湉;全伟;陆吉玺;李林;韩邦成;周斌权;尚慧宁 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | G05D22/00 | 分类号： | G05D22/00 |
| 代理公司： | 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 11129 | 代理人： | 吴小灿;朱亚娜 |
| 地址： | 100191*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种碱金属气室内湿度的控制系统及方法，包括湿度控制模块，还包括通过气体管路依次连接的气源装置、气量控制装置、润湿装置、湿度测试装置和待镀抗弛豫涂层的碱金属气室，在碱金属气室抗弛豫涂层镀制步骤前，通过向待镀抗弛豫涂层的碱金属气室内预先通入设定湿度的惰性气体进而精确地控制抗弛豫涂层的镀制环境湿度，提高碱金属气室制作的一致性，且方便研究探索环境湿度对抗弛豫涂层性能产生的影响，以便于在碱金属气室内形成性能优良的抗弛豫涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碱金属 室内 湿度 控制系统 方法 | ||
【主权项】：
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