[发明专利]一种纳米金刚石金属化薄膜的制备方法、产品及应用

摘要

本发明公开一种纳米金刚石金属化薄膜的制备方法、产品及应用，具体通过以下方法制备得到：采用化学刻蚀的方法，在硅衬底上制备多孔金刚石薄膜；将制备得到金刚石薄膜与金属氧化物的凝胶，均匀旋涂，形成致密薄膜，干燥，制得多孔纳米金刚石/氧化物复合薄膜，本发明针对纳米金刚石薄膜形成多孔结构之后造成的导电性与活性位点的下降问题，对纳米金刚石薄膜进行合理的后期处理，有效地得到了金属化的多孔纳米金刚石薄膜材料。