[发明专利]一种以二氧化硅矿石为原料的集成电路用晶片检测设备有效

专利信息
申请号: 201911311738.9 申请日: 2019-12-18
公开(公告)号: CN110970332B 公开(公告)日: 2022-12-13
发明(设计)人: 陈家辉 申请(专利权)人: 深圳市凯新达电子有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/66;G01N21/95
代理公司: 深圳众邦专利代理有限公司 44545 代理人: 王金刚
地址: 518000 广东省深圳市南山区西丽*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及晶片检测技术领域,且公开了一种以二氧化硅矿石为原料的集成电路用晶片检测设备,包括传送带,所述传送带的表面固定连接有支撑架,支撑架的表面固定连接有镜头,支撑架的内部活动连接有扇叶,扇叶的表面固定连接有转轴,支撑架的内部且位于扇叶远离转轴的一侧固定连接有检测机构,所述检测机构包括滑动体。气流从阻隔块表面喷出,并吹动在传送带表面的晶体上,因晶体的面积大于检测机构之间的距离,所以晶体表面会均匀受到气流的支撑力,而处于支撑架上部检测机构也喷出同样均匀度的气流,晶体从而不再与传送带接触,上下两侧的检测镜头照射在晶体表面,从而达到了不接触晶体表面便可进行检测的效果。
搜索关键词: 一种 二氧化硅 矿石 原料 集成电路 晶片 检测 设备
【主权项】:
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