[发明专利]用于拉晶炉的导流筒及拉晶炉在审
| 申请号： | 201911312839.8 | 申请日： | 2019-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN110904498A | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | 蒲以松;惠聪 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人： | 刘长春 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于拉晶炉的导流筒，包括外导流筒、内导流筒和冷却单元，其中，所述内导流筒位于所述外导流筒内侧，所述内导流筒与所述外导流筒之间设置有隔热层；所述冷却单元包括嵌入在所述内导流筒内部的冷却管，所述冷却管连接至冷却介质供给装置。该导流筒在内导流筒中设置冷却单元，冷却介质可以快速吸收单晶硅棒辐射的热量，使得单晶硅棒散热较快，增大了单晶硅棒的冷却速度和结晶界面附近晶体的纵向温度梯度，有效避免了单晶硅棒中产生缺陷，提高了单晶硅棒生长速率，缩短了拉晶周期。本发明还提供了一种包括该导流筒的拉晶炉。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 拉晶炉 导流 | ||
【主权项】：
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