[发明专利]一种高精度自适应的真空度控制系统有效
| 申请号： | 201911313235.5 | 申请日： | 2019-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN111026176B | 公开（公告）日： | 2022-12-09 |
| 发明（设计）人： | 李白;易欢;黄炳修 | 申请（专利权）人： | 北京航天益森风洞工程技术有限公司 |
| 主分类号： | G05D16/20 | 分类号： | G05D16/20 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 王永芳 |
| 地址： | 100074 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高精度自适应的真空度控制系统，其包括真空室，进气管道，喷管和排气组件，所述排气组件包括彼此相连并同轴配置的可调节收集段，等直段和扩散段，所述排气组件穿过所述真空室壁进行设置，所述可调节收集段位于真空室内，其进气口面积可调，所述扩散段位于真空室外，所述喷管配置于真空室内，经由所述进气管道与真空室外的气源相连，所述喷管与所述排气组件彼此相间隔地同轴配置。本发明结构简单、并且在真空度高的前提下，不仅能够进行简单的真空度调节，还能够自适应稳定在某一所需真空度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 自适应 真空 控制系统 | ||
【主权项】：
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