[发明专利]微流控面板及其驱动方法有效
申请号: | 201911315218.5 | 申请日: | 2019-12-19 |
公开(公告)号: | CN110918145B | 公开(公告)日: | 2021-07-09 |
发明(设计)人: | 林柏全;席克瑞;孔祥建;欧阳珺婷;李小和;秦锋;刘金娥;王丽影 | 申请(专利权)人: | 上海天马微电子有限公司 |
主分类号: | B01L3/00 | 分类号: | B01L3/00 |
代理公司: | 北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11603 | 代理人: | 于淼 |
地址: | 201201 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种微流控面板及其驱动方法,微流控面板包括含有多个分叉结构的微通道,微通道内包括液滴;微流控面板包括相对设置的第一基板和第二基板、之间夹设的微通道;分叉结构包括入口端和出口端,入口端和出口端均包括压电单元,压电单元包括位于第一基板靠近微通道一侧的第一电极、位于第二基板靠近微通道一侧的第二电极、以及夹设与第一电极与第二电极之间的压电材料层,向第一电极提供第一电压,向第二电极提供第二电压,第一电压和第二电压之间的电压差驱动压电材料层向指向微通道的方向突起或指向第一基板的方向恢复。本发明改善了现有技术中当微通道分支增加时压力差不足以驱动液滴移动的问题。 | ||
搜索关键词: | 微流控 面板 及其 驱动 方法 | ||
【主权项】:
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