[发明专利]微机械装置和用于制造微机械装置的方法在审
| 申请号： | 201911315373.7 | 申请日： | 2019-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN111348614A | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | E·格拉夫;H·伦普夫;J·弗莱;J·莱茵穆特;K-U·里曹;A·布莱特林 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机械装置，其具有硅基底(100)，硅基底具有置于硅基底上的氧化物层(200)和置于氧化物层上的微机械功能层(300)，它们平行于主延伸平面(10)延伸，其中，至少在微机械功能层(300)和氧化物层(200)中构造空穴(320)。本发明的核心在于，在氧化物层(200)和/或微机械功能层(300)中构造入口通道(250)，入口通道从空穴(320)开始平行于主延伸平面(10)延伸并且在此在垂直于主延伸平面(10)的投影方向(20)上看延伸到空穴(320)外部的入口区域(400)中。本发明还涉及一种用于制造微机械装置的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 装置 用于 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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