[发明专利]一种基于激光跟踪仪非接触式测量大口径光学元件面形的方法有效
| 申请号： | 201911316673.7 | 申请日： | 2019-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN111023971B | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 杨杰;李杰;陈林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于激光跟踪仪非接触式测量大口径光学元件面形的方法，采用气浮靶标作为激光跟踪仪测量合作靶标测量光学元件表面；通过对气浮靶标供气，使气浮面微孔输出稳定的高压气流，在气浮面与光学元件表面形成固定大小的气隙层，达到非接触测量的目的。使用激光跟踪仪结合气浮靶标非接触扫描测量光学元件轮廓，对扫描点进行处理后得到面形误差。本发明方法在面形测量过程中不与光学元件接触和摩擦，能够有效保护光学镜面，可以实现快速扫描测量，降低环境对面形测量的影响；相对于传统点接触，本方法单次采样区域为气浮面口径，具有采样均化效应，同时，角锥方向可以固定指向跟踪仪，不会引入偏心误差，具有良好的精度及重复性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 激光 跟踪 接触 测量 口径 光学 元件 方法 | ||
【主权项】：
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