[发明专利]带温补层和电学层的体声波谐振器、滤波器及电子设备有效
| 申请号： | 201911317366.0 | 申请日： | 2019-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN111010130B | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 张孟伦;庞慰;杨清瑞 | 申请（专利权）人： | 诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/15 | 分类号： | H03H9/15;H03H9/17;H03H9/13 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300462 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极；顶电极；压电层，设置在底电极与顶电极之间，其中：顶电极、压电层、底电极和声学镜在谐振器的厚度方向上的重叠区域构成谐振器的有效区域；顶电极和/或底电极为温补层电极，温补层电极包括电极材料层、至少一层温补层和至少一层电学层，温补层与电学层在谐振器的厚度方向上叠置，且在温补层电极的厚度方向上，在温补层电极中温补层中的一层比所有电学层更靠近压电层，电学层与所述电极材料层形成电连接，所述电学层的电阻率不同于所述电极材料层的电阻率，所有温补层在谐振器的厚度方向上与压电层间隔开。本发明还公开了一种具有该谐振器的滤波器及具有该滤波器或谐振器的电子设备。 | ||
| 搜索关键词： | 带温补层 电学 声波 谐振器 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
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