[发明专利]一种分时复用的绝对式时栅直线位移传感器有效
申请号: | 201911319857.9 | 申请日: | 2019-12-19 |
公开(公告)号: | CN113008119B | 公开(公告)日: | 2022-11-25 |
发明(设计)人: | 刘小康;蒲红吉;彭凯;王合文;黄沛 | 申请(专利权)人: | 通用技术集团国测时栅科技有限公司 |
主分类号: | G01B7/02 | 分类号: | G01B7/02 |
代理公司: | 重庆华科专利事务所 50123 | 代理人: | 康海燕;唐锡娇 |
地址: | 401329 重庆*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: |
本发明公开了一种分时复用的绝对式时栅直线位移传感器,包括定尺和动尺,动尺包括动尺基体和感应电极Ⅰ、感应电极Ⅱ、反射电极,感应电极Ⅰ、Ⅱ为三测头的结构形式;定尺包括定尺基体和激励电极Ⅰ、激励电极Ⅱ、接收电极,激励电极Ⅰ的A |
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搜索关键词: | 一种 分时 绝对 式时栅 直线 位移 传感器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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