[发明专利]一种化学机械抛光液在审
| 申请号： | 201911320533.7 | 申请日： | 2019-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN113004797A | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 李守田;任晓明;贾长征 | 申请（专利权）人： | 安集微电子（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 北京大成律师事务所 11352 | 代理人： | 李佳铭;王芳 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种化学机械抛光液，所述化学机械抛光液包含水、氧化铈、聚季氨盐、含苯环的羧酸、以及聚乙烯胺。只有聚季氨盐、含苯环的羧酸、聚乙烯胺三者一起使用，才会实现真正意义的自动停止功能，在空白片具有较低的抛光速率，而在图案化硅片的高的台阶高度时保持高的抛光速率，台阶高度越低时抛光速度抑制得越好，从而实现自动停止的功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械抛光 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安集微电子（上海）有限公司，未经安集微电子（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911320533.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：等效燃油消耗因子标定系统及方法
- 下一篇：一种化学机械抛光液
