[发明专利]一种CF基板用光致变色型负性光刻胶的制备方法在审

专利信息
申请号: 201911323676.3 申请日: 2019-12-20
公开(公告)号: CN111077733A 公开(公告)日: 2020-04-28
发明(设计)人: 刘农强;陆顺平 申请(专利权)人: 上海电动工具研究所(集团)有限公司;上海宝庆通用电工有限公司
主分类号: G03F7/038 分类号: G03F7/038;G03F7/004
代理公司: 上海申汇专利代理有限公司 31001 代理人: 徐俊
地址: 200030*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种CF基板用光致变色型负性光刻胶及其制备方法,其特征在于,将二季戊四醇六丙烯酸酯、1‑羟基环己基苯基甲酮、过氧化二苯甲酰,按配方混合均匀得到混合物A;将3,4‑环氧甲基3,4‑环氧甲酸酯、环己烷‑1,2‑二羧酸二缩水甘油酯、[环戊二烯‑铁‑对二甲苯]六氟磷盐按配方混合均匀得到混合物B;将混合物A、混合物B同时加入全密封不透光的不锈钢桶,开启搅拌,边搅拌边加入苯并螺吡喃类化合物,至混合均匀后得到最终产品。本发明具有改善了BM材料为了提高遮光浓度增加厚度而导致的固化不完全的缺点。解决了BM材料使用在RBG成膜之后无法精确对位的难题,先对位,曝光后BM材料变色,具有遮光性,达到遮光浓度的要求。
搜索关键词: 一种 cf 用光 变色 型负性 光刻 制备 方法
【主权项】:
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