[发明专利]镀膜设备及其应用

摘要

本发明提供一种镀膜设备及其应用，用于在基材表面镀膜，包括一进料装置和一设备主体，其中所述进料装置被连接于所述设备主体，其中所述进料装置包括一气体进料装置和一液体进料装置，其中所述气体进料装置被连通于所述设备主体以用于输送气态的气体原料至所述设备主体，其中所述液体进料装置被连通于所述设备主体以用于输送液态经气化后的气体原料至所述设备主体，其中所述设备主体基于所述气体原料制备薄膜，其中同一台所述镀膜设备能够在所述基材表面制备多种不同性能或者种类的薄膜或者膜层。