[发明专利]一种单晶硅加料数据的确定方法、装置及设备在审
| 申请号： | 201911329944.2 | 申请日： | 2019-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN111020700A | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 李博一;王慧智;罗向玉;冉瑞应;金雪;周宏坤;陈龙;杨东 | 申请（专利权）人： | 银川隆基硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/02;C30B15/04;C30B15/20 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 莎日娜 |
| 地址： | 750000 宁夏回族自治区银*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本发明提供的一种单晶硅加料数据的确定方法、装置及设备，包括：获取单晶炉的工步状态；在工步状态为卸离硅棒工步的情况下，获取单晶炉的运行参数数据；在根据运行参数数据，确定开始进行加料操作的情况下，获取单晶炉中坩埚的信息、单晶炉所需原料的原料信息，并根据坩埚的信息、原料信息和运行参数数据，确定加料数据。本发明中，在工步状态为卸离硅棒工步时，就可以通过单晶炉的运行参数数据、坩埚的信息和原料信息，确定加料数据，使得制备单晶硅的加料操作更加快速和准确，缩短了确定单晶硅加料数据的时间，提高了单晶硅的生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 加料 数据 确定 方法 装置 设备 | ||
【主权项】：
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