[发明专利]一种VCSEL芯片及其制造方法在审
| 申请号： | 201911331992.5 | 申请日： | 2019-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN111106533A | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | 仇伯仓 | 申请（专利权）人： | 江西德瑞光电技术有限责任公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/12 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 彭琰 |
| 地址： | 330000 江西省南昌市南*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明提供一种VCSEL芯片及其制造方法，所述VCSEL芯片包括芯片主体，所述芯片主体上设有出光窗口，所述出光窗口内设置有光栅结构，所述光栅结构的光栅周期随其中心距的增大而减少。本发明通过直接在VCSEL芯片的出光窗口内、设置光栅周期随其中心距的增大而减少的光栅结构，以通过光栅的衍射作用对VCSEL芯片的光束进行整形，相比于现有设置光学整形透镜系统的方案，无疑降低了VCSEL芯片的整体成本，并保证了VCSEL芯片的整体厚度，有利于小型化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 vcsel 芯片 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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