[发明专利]内筒壁吹扫装置

摘要

本发明公开了一种内筒壁吹扫装置，包括：反应腔室；进气喷头，设置在反应腔室的顶部，用于朝反应腔室内的托盘上的衬底供给反应气体；内筒，设置在反应腔室内，位于进气喷头和托盘之间；进气环，和内筒的上端连接，且与内筒的内筒壁之间形成有环形腔以及与环形腔连通的环形狭缝；进气管，进气管的一端和进气环连接，用于给环形腔提供吹扫气体，进气管的另一端伸出反应腔室。当反应气体从进气喷头向下流出时，吹扫气体同时从进气管进入进气环与内筒形成的环形腔内，并从与环形腔连通的环形狭缝流出，然后沿着内筒壁向下流动，吹扫气体和反应气体平行向下流动，为平流状态，从而在内筒壁附近形成一个气帘，气帘能有效阻止反应气体和内筒壁接触。