[发明专利]铜表面微蚀粗化液及其制备方法有效
申请号: | 201911337775.7 | 申请日: | 2019-12-23 |
公开(公告)号: | CN111020584B | 公开(公告)日: | 2022-05-31 |
发明(设计)人: | 陈修宁;王立中;黄京华;李晨庆;黄志齐;王淑萍;刘亮亮 | 申请(专利权)人: | 昆山市板明电子科技有限公司 |
主分类号: | C23F1/18 | 分类号: | C23F1/18 |
代理公司: | 昆山中际国创知识产权代理有限公司 32311 | 代理人: | 盛建德;孙海燕 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种铜表面微蚀粗化液,包括如下成分及其质量浓度:来自铜离子源的二价铜离子5~50g/L、有机酸20~150g/L、来自氯离子源的氯离子3~105g/L、水溶性聚合物0.0005~2g/L和吡啶衍生物0.001g/L~10g/L,溶剂为水;其中有机酸为甲酸、乙酸、苹果酸、柠檬酸、酒石酸、乙二胺四乙酸、亚氨基二琥珀酸、一氯乙酸、二氯乙酸和三氯乙酸中的至少一种;所述水溶性聚合物为分子链中含咪唑或铵盐结构的聚合物。本铜面粗化液可以在铜表面形成均匀的粗化,不受铜面晶体结构的影响,在后续的工艺中可以有效改善涂覆在其上面的阻焊涂层的附着力。 | ||
搜索关键词: | 表面 微蚀粗化液 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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