[发明专利]一种提高铝掺杂氧化锌导电玻璃热稳定性的方法有效
| 申请号： | 201911338638.5 | 申请日： | 2019-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN110981215B | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 张宇锋;费子琪;黄煌;穆瑞 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | C03C17/34 | 分类号： | C03C17/34;C23C16/40;C23C16/56 |
| 代理公司： | 厦门南强之路专利事务所(普通合伙) 35200 | 代理人： | 马应森;曾权 |
| 地址： | 361005 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种提高铝掺杂氧化锌导电玻璃热稳定性的方法，涉及透明导电材料。将AZO导电玻璃依次通过酒精、丙酮和去离子水超声清洗，清洗后与锌粉共同放置于刚玉舟内，将刚玉舟放入化学气相沉积系统，抽真空后，在惰性气氛下吹扫至少三次，再次抽真空到1～10mbar范围；化学气相沉积系统以5～20℃/min速率升温，当AZO导电玻璃温度达到500～700℃内的某一设定温度后，向系统内通入混合气体进行反应；反应完成后，停止通入混合气体，自然降温，即在AZO导电玻璃上沉积均匀连续厚度的氧化锌层，获得ZnO/AZO导电玻璃；在惰性气氛中退火可进一步提高铝掺杂氧化锌导电玻璃的透光率。操作工艺简单、成本低、可批量生长、无污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 掺杂 氧化锌 导电 玻璃 热稳定性 方法 | ||
【主权项】：
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