[发明专利]一种电泵浦垂直外腔面发射激光器芯片及其制备方法在审
| 申请号： | 201911341977.9 | 申请日： | 2019-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN111146688A | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 朱丽华;高阳 | 申请（专利权）人： | 江西德瑞光电技术有限责任公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/187;H01S5/028;H01S5/10;H01S5/00 |
| 代理公司： | 南昌洪达专利事务所 36111 | 代理人： | 黄文亮 |
| 地址： | 330000 江西省南昌市*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种电泵浦垂直外腔面发射激光器芯片及其制备方法，包括依次设置的衬底、n型掺杂DBR、中间介质层、量子阱有源层、中间介质层、p型掺杂DBR和帽层；所述衬底的上表面设置有抗反射涂层和n面金属接触层电极，所述抗反射涂层和n面金属接触层电极之间形成沟槽结构一；所述帽层远离所述p型掺杂DBR的端面上设有SiO |
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| 搜索关键词： | 一种 电泵浦 垂直 外腔面 发射 激光器 芯片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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