[发明专利]正型光敏组合物以及使用其的固化膜

摘要

本发明涉及一种正型光敏树脂组合物和一种由其制备的固化膜。在所述组合物中，通过含有具有特定结构的重复单元的聚合物的光活性化合物和/或单体的光活性化合物与两种粘合剂树脂(即硅氧烷共聚物和丙烯酸类共聚物)之间的相互作用来适当地调节显影性(即显影速率)。因此，有可能降低在显影步骤期间固化膜厚度损失率。另外，使用所述组合物允许通过所述两种粘合剂树脂与所述光活性化合物之间的相互作用增加暴露部分(即曝光的部分)，这增加了在显影剂中的溶解性，由此可以增强敏感性。此外，所述组合物能够形成固化膜，所述固化膜在膜保留率方面是优异的，并且甚至在后烘烤后具有光滑的表面。