[发明专利]硅棒杂质点位置判定方法在审
申请号: | 201911344522.2 | 申请日: | 2019-12-24 |
公开(公告)号: | CN113030181A | 公开(公告)日: | 2021-06-25 |
发明(设计)人: | 翟传鑫;李飞龙 | 申请(专利权)人: | 阿特斯光伏电力(洛阳)有限公司;阿特斯阳光电力集团股份有限公司 |
主分类号: | G01N25/72 | 分类号: | G01N25/72 |
代理公司: | 苏州携智汇佳专利代理事务所(普通合伙) 32278 | 代理人: | 于欣 |
地址: | 471000 河*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本发明提供了一种硅棒杂质点位置判定方法,主要包括以下步骤:S1、提供红外探伤仪和硅棒,按照红外探伤仪的扫描顺序,对硅棒的四个侧面进行扫描,形成四幅扫描图;S2、利用红外探伤仪对每张扫描图进行杂质辨认,并记录下每个杂质点在对应扫描图中的X、Y坐标值;S3、根据扫描图中杂质点的清晰程度,选择任意相邻的两张杂质点清晰度高的图,列举出每张图中每个杂质点的X坐标值,并将每张图中杂质点的X坐标值单独成列,形成两列数据;S4、选定两列数据中的所有数据,使生成散点图,根据该散点图中杂质点的分布区域判定出硅棒的杂质面。相较于现有技术,本发明能够直接判断出硅棒的杂质面,为后续的切割工艺提供帮助。 | ||
搜索关键词: | 杂质 位置 判定 方法 | ||
【主权项】:
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