[发明专利]一种异质材料结构化多层薄膜吸波器及其制造方法有效

专利信息
申请号: 201911345072.9 申请日: 2019-12-24
公开(公告)号: CN110994189B 公开(公告)日: 2021-07-20
发明(设计)人: 刘卫国;葛少博;周顺;杨鹏飞;李世杰;阳志强;黄岳田 申请(专利权)人: 西安工业大学
主分类号: H01Q17/00 分类号: H01Q17/00;C23C14/16;C23C14/35;C23C16/34;C23C16/40
代理公司: 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 代理人: 韩翎
地址: 710032 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种异质材料结构化多层薄膜吸波器及其制造方法,所述结构化多层薄膜包括硅基底,Ag薄膜、SiO2薄膜和SiNx薄膜从下往上依次层叠;该结构化多层薄膜整体为微金字塔结构阵列。制备时,采用单点金刚石车削技术在异质材料多层薄膜中直接完成微金字塔结构的成型。本发明提出的异质材料结构化多层薄膜吸波器对可见光波以及红外波段光波表现出明显的吸波特性,该包含金属‑介质的异质材料结构化多层薄膜吸波器可以实现对电磁波能量的吸收,制备成本低、效率高,对于光伏、隐身领域具有重要的实用价值。
搜索关键词: 一种 材料 结构 多层 薄膜 吸波器 及其 制造 方法
【主权项】:
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