[发明专利]研磨装置及研磨部件的修整方法在审
| 申请号： | 201911345425.5 | 申请日： | 2019-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN111496668A | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 八木圭太;广尾康正 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B37/11 | 分类号： | B24B37/11;B24B37/27;B24B37/34;B24B47/12;B24B49/00;B24B53/12;B24B57/02 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明为研磨装置及研磨部件的修整方法，修整器能够在沿着摆动方向而设定于研磨部件上的多个扫描区域中调整摆动速度，具备以下步骤：在沿着修整器的摆动方向预先设定于研磨部件上的多个监控区域中测定研磨部件的表面高度；创建由监控区域、扫描区域和修整模型定义的修整模型矩阵；使用修整模型和各扫描区域中的摆动速度或停留时间来计算高度轮廓预测值；根据与研磨部件的高度轮廓的目标值的差值来设定评价指标；以及根据评价指标来设定修整器的各扫描区域中的摆动速度，使用于确定高度轮廓的目标值或评价指标的参数中的至少一方自动地变化。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 部件 修整 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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