[发明专利]一种基于光热电效应的激光轨迹跟踪器件及跟踪测试方法

摘要

一种基于光热电效应的激光轨迹跟踪器件及方法，属于电子器件技术领域。该跟踪器件包括柔性衬底、热电薄膜和四个电极；热电薄膜位于衬底之上，四个电极分别设置在热电薄膜上面的四条边上，且相邻两个电极之间互不连接。所述方法包括位置标定、光斑定位和轨迹跟踪等步骤，该方法根据光热电效应中光照位置对输出电压信号的影响，采用一类热电薄膜材料制备激光轨迹跟踪器件，通过测试两个方向的光热电输出电压信号，能实现二维平面内的激光定位和轨迹跟踪。本发明组装简单、信号易测量、使用寿命长，可以基于少量输出信号实现激光轨迹跟踪的功能，减少运算量，提高数据处理效率，因而具有重要的应用价值。