[发明专利]一种低温微型气敏元件及其制备方法在审
| 申请号： | 201911346826.2 | 申请日： | 2019-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN111796005A | 公开（公告）日： | 2020-10-20 |
| 发明（设计）人： | 赵彦弘;何微思;熊玉华;张庆猛;杨志民 | 申请（专利权）人： | 有研工程技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 刘徐红 |
| 地址： | 101407 北京市怀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种低温微型气敏元件及其制备方法，属于气体传感元件的制造技术领域。该低温微型气敏元件由基底、电极层、敏感层和覆盖层组成，电极层通过物理或化学沉积设置于基底上，电极层上设有激光刻蚀的凹槽，未刻蚀部分为电极图形；敏感层通过原位生长或涂覆填充于激光刻蚀的凹槽中，覆盖层通过涂覆设置于电极层和敏感层上。在基底上覆盖一层电极层，通过激光打字机在电极层上绘制所需电极图形；其上覆盖一层以金属氧化物为主要成分的敏感层，通过烧结将敏感层固定在电极层上；其上再涂覆一层高分子材料作为覆盖层。该气敏元件尺寸灵活可变，可依据应用器件的体积大小而改变，最小尺寸为0.2×0.2mm，工作温度低于100℃。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低温 微型 元件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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