[发明专利]线圈组件及半导体设备有效
| 申请号： | 201911350637.2 | 申请日： | 2019-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN111146067B | 公开（公告）日： | 2023-04-14 |
| 发明（设计）人： | 李兴存 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京思创毕升专利事务所 11218 | 代理人： | 孙向民;廉莉莉 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种线圈组件及半导体设备，线圈组件包括：多组感应线圈，多组感应线圈之间并联连接，且多组感应线圈呈放射状分布。有效避免线圈组件扩大线圈组件覆盖范围时出现驻波，有效保证采用线圈组件的半导体设备大面积均匀等离子体的产生。 | ||
| 搜索关键词： | 线圈 组件 半导体设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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