[发明专利]利用二氧化碳制备高硬减摩耐蚀TiCxOy涂层的方法有效

专利信息
申请号: 201911352102.9 申请日: 2019-12-25
公开(公告)号: CN111118463B 公开(公告)日: 2022-04-01
发明(设计)人: 张斌;王兆龙;张俊彦;贾倩;牟志星;强力;高凯雄 申请(专利权)人: 中国科学院兰州化学物理研究所
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/02
代理公司: 兰州中科华西专利代理有限公司 62002 代理人: 曹向东
地址: 730000 甘*** 国省代码: 甘肃;62
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摘要: 发明涉及一种利用二氧化碳制备高硬减摩耐蚀TiCxOy涂层的方法,该方法是指:将抛光好的基材经超声清洗、N2干燥后,得到干燥的样品;所述干燥的样品转移至真空腔中,抽真空至9.8×10‑4 Pa后,先采用脉冲负偏压进行Ar气体离子轰击,再在氩气和二氧化碳气体混合气氛下,以Ti靶进行直流脉冲磁控溅射沉积,即得TiCxOy涂层。本发明成本低、能耗低,所得涂层具有硬度高、摩擦系数低、耐腐蚀性能优异的特点。
搜索关键词: 利用 二氧化碳 制备 高硬减摩耐蚀 ticxoy 涂层 方法
【主权项】:
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