[发明专利]一种共焦测厚中双传感器位姿的透明圆孔标定方法有效
申请号: | 201911355038.X | 申请日: | 2019-12-25 |
公开(公告)号: | CN110926397B | 公开(公告)日: | 2021-06-04 |
发明(设计)人: | 李加福;朱小平;杜华;王凯;赵沫;赵彦龙 | 申请(专利权)人: | 中国计量科学研究院 |
主分类号: | G01B21/04 | 分类号: | G01B21/04;G01B21/08 |
代理公司: | 北京市恒有知识产权代理事务所(普通合伙) 11576 | 代理人: | 王贵良 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种共焦测厚中双传感器位姿的透明圆孔标定方法,包括以下步骤:装夹圆孔薄膜;拟合圆孔薄膜上下表面圆孔;调整上下传感器垂直于工作面;拟合圆孔薄膜上下表面圆孔圆心;调整上下传感器共轴对准;完成上下传感器位姿标定。一种共焦测厚中双传感器位姿的透明圆孔标定方法,利用透明圆孔薄膜的圆孔特征在实现上下传感器对准的同时,实现上下传感器同轴度评定,调整上下传感器共轴;利用透明圆孔薄膜的透明性,保证上下传感器测量同一点,完成传感器间距标定,避免引入第三方测厚仪器的不确定度;透明圆孔薄膜集上下传感器同轴调整、对准和间距标定功能于一体,使得共焦测厚中上下传感器的位姿标定更方便、更高效。 | ||
搜索关键词: | 一种 共焦测厚中双 传感器 透明 圆孔 标定 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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