[发明专利]一种高遮挡件抗腐蚀多元涂层及其制备方法以及制备方法所用的装置有效
| 申请号： | 201911355671.9 | 申请日： | 2019-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN111020479B | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 廖斌;欧阳晓平;何光宇;何卫锋;罗军;陈琳;张旭;吴先映;庞盼;韩然;英敏菊 | 申请（专利权）人： | 北京师范大学 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/32;C23C14/34;C23C14/35;C23C28/04 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 吕纪涛 |
| 地址： | 100875 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明提供了一种高遮挡件抗腐蚀多元涂层及其制备方法以及制备方法所用的装置，属于薄膜沉积技术领域。本发明提供的高遮挡件抗腐蚀多元涂层的制备方法，包括以下步骤：以碳硅靶和碳硅钛靶为阴极，利用磁过滤沉积法、多弧沉积法和第一高功率脉冲磁控法在高遮挡件基体交替循环沉积TiSiN膜层和TiSiCN膜层，得到TiSiN/TiSiCN复合交替层；利用第二高功率脉冲磁控法在所述TiSiN/TiSiCN复合交替层表面沉积Al |
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| 搜索关键词： | 一种 遮挡 腐蚀 多元 涂层 及其 制备 方法 以及 所用 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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