[发明专利]一种透射电子显微镜双倾样品杆

摘要

本发明公开了一种透射电子显微镜双倾样品杆，包括顺次相连的样品台、样品杆外壳、样品杆内芯和手柄四个主要部分。样品台上装有可旋转样品坩埚、可拆卸式压片以及微调齿轮，样品可随可旋转坩埚绕电子束入射方向旋转；样品杆外壳与样品台固定连接，外壳部分可以与电镜测角台合理匹配；样品杆内芯前端为与微调齿轮配合的传动齿条，后段与手柄内的直线伺服电机通过联轴器连接，内芯直线运动带动可旋转坩埚转动；手柄内部设有控制内芯运动的直线伺服电机及传动机构。本发明的倾转方式采用绕轴向翻转和绕电子束入射方向旋转相结合的方式。与现有样品杆相比，所设计的双倾样品杆β方向的倾转角度提高了67％，大大提高了现有双倾样品杆的测试性能。