[发明专利]一种高效蚀刻脱膜装置有效
申请号: | 201911361395.7 | 申请日: | 2019-12-25 |
公开(公告)号: | CN111155090B | 公开(公告)日: | 2022-01-11 |
发明(设计)人: | 沈悦 | 申请(专利权)人: | 绍兴华立电子有限公司 |
主分类号: | C23F1/08 | 分类号: | C23F1/08 |
代理公司: | 绍兴越牛专利代理事务所(普通合伙) 33394 | 代理人: | 王剑 |
地址: | 312000 浙江省绍兴市袍*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种高效蚀刻脱膜装置,包括装置主体,所述装置主体的内部底端固定安装有自动油墨渣收集箱,所述装置主体的内部顶端固定安装有一号水箱,所述一号水箱的内部设置有进水口和出水口,所述一号水箱的内部左侧固定安装有隔板,所述隔板的底部设置有进出水口,所述装置主体的顶部固定安装有二号水箱,二号水箱的底部设置有Z形管道,所述Z形管道内设置有二号传动绳,所述一号水箱的左侧设置有水箱转换装置且与二号水箱连接。当一号水箱内的水位过低的时候,压力块向下运动,带动浮块向下运动,从而使一号水箱出水口密闭和进水口打开,通过浮块将二号水箱内出水管的出水口密闭装置打开,使二号水箱开始工作。 | ||
搜索关键词: | 一种 高效 蚀刻 装置 | ||
【主权项】:
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