[发明专利]一种空间用气体流量控制器流量标定装置在审
| 申请号： | 201911363972.6 | 申请日： | 2019-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN111141369A | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 胡向宇;李诚;蔺璟;李增科;刘泽 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01F25/00 | 分类号： | G01F25/00 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 温子云;仇蕾安 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种空间用气体流量控制器流量标定装置，设计了变容机构，采用变容机构为待标定空间用气体流量控制器提供压力不变的测试气体，同时，保证待标定空间用气体流量控制器的另一侧为真空环境，解决了出气口是真空环境的空间用气体流量控制器的地面标定问题，因此，能够对进气的压力为1～3Mpa之间、出气压力小于1000Pa或趋近真空的气体流量控制器进行流量标定，能够获得待标定气体流量控制器的流量动态特性，且用时短、准确率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 空间 气体 流量 控制器 标定 装置 | ||
【主权项】：
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