[发明专利]一种条形半导体激光器端面镀膜用半遮挡装置及镀膜方法在审
| 申请号： | 201911366659.8 | 申请日： | 2019-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN113046700A | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 贾旭涛;刘琦;赵克宁 | 申请（专利权）人： | 山东华光光电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04 |
| 代理公司： | 济南诚智商标专利事务所有限公司 37105 | 代理人： | 郑宪常 |
| 地址： | 250101 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了条形半导体激光器端面镀膜用半遮挡装置及镀膜方法，包括工件盘、遮挡板、修正板、镀膜源、镀膜机，镀膜机内部为腔体结构，镀膜源设于腔体结构的内侧底部，工件盘设于腔体结构的上部，工件盘通过转轴与镀膜机上部支架连接，遮挡板设于工件盘下侧，遮挡板通过支撑架固定到腔体的两侧，修正板设于遮挡板下侧并与腔体内侧连接，工件盘通过下方的遮挡板遮挡后露出的部分为镀膜区域。本发明镀膜均匀性好，能够提高条形半导体激光器芯片的质量，提高良品率。解决了现有技术存在的蒸镀均匀性差造成的产品质量差以及影响条形半导体激光器性能的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 条形 半导体激光器 端面 镀膜 遮挡 装置 方法 | ||
【主权项】：
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