[发明专利]一种单晶炉除尘过滤系统在审
| 申请号： | 201911367050.2 | 申请日： | 2019-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN111111333A | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 潘浩 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/00 | 分类号： | B01D46/00;B01D46/48 |
| 代理公司： | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人： | 刘长春 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单晶炉除尘过滤系统，包括除尘罐主体和真空泵组件，所述除尘罐主体与单晶炉连通，其中，所述除尘罐主体的内部设置有过滤单元，以过滤所述单晶炉排放的气体；所述除尘罐主体的下端设置有用于排放杂质颗粒的排放口；所述真空泵组件包括：抽真空管路和设置在所述抽真空管路上的真空泵；所述抽真空管路与所述除尘罐主体连通，所述真空泵组件用于在所述单晶炉进行拉晶时对所述除尘罐主体内腔进行抽真空并在所述单晶炉结束拉晶时对所述除尘罐主体内腔进行吹气。该除尘过滤系统能够有效地将沉积在过滤单元和罐体底部的氧化物等杂质颗粒排出，防止堵塞排气管道，改善除尘效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 除尘 过滤 系统 | ||
【主权项】：
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