[发明专利]一种细棒材表面物理沉积涂层用夹持旋转装置在审

专利信息
申请号: 201911367558.2 申请日: 2019-12-26
公开(公告)号: CN110965038A 公开(公告)日: 2020-04-07
发明(设计)人: 盛立远 申请(专利权)人: 北京大学深圳研究院
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50
代理公司: 深圳市深可信专利代理有限公司 44599 代理人: 万永泉
地址: 518000 广东省深圳市高新*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种细棒材表面物理沉积涂层用夹持旋转装置,包括基座及主转轴,所述主转轴上固定设置有承载架,所述承载架上设置有可径向转动的主动转轴,承载架一端设置有可径向转动的第一被动转轴,承载架另一端设置有可径向转动的第二被动转轴,所述主动转轴外端与基座之间设置有第一齿轮传动组件,主动转轴与第一被动转轴之间设置有第二齿轮传动组件,主动转轴与第二被动转轴)之间设置有第三齿轮传动组件,所述第一被动转轴及第二被动转轴用于夹持需要进行表面物理沉积涂层加工的细棒材的两端。该种细棒材表面物理沉积涂层用夹持旋转装置具有结构简单、性能稳定可靠、实施成本低、实施容易、加工质量好、细棒材表面涂层一致性高等优点。
搜索关键词: 一种 细棒材 表面 物理 沉积 涂层 夹持 旋转 装置
【主权项】:
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