[发明专利]一种极微小密封器件腔体气体压力和组分测量装置及方法有效
| 申请号： | 201911371532.5 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN111141506B | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 陈联;成永军;董猛;郭美如;张瑞年;冯天佑;黄宏 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01M13/00 | 分类号： | G01M13/00;G01L15/00;G01N27/62 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 代丽 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种极微小密封器件腔体气体压力和组分测量装置及方法。使用本发明能够实现气体密封器件内腔体容积在0.005cm |
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| 搜索关键词： | 一种 极微 密封 器件 气体 压力 组分 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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