[发明专利]一种实现超高速曝光的设备在审
| 申请号： | 201911372328.5 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN111025858A | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 陈修涛 | 申请（专利权）人： | 合肥众群光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 合肥兴东知识产权代理有限公司 34148 | 代理人： | 王伟 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市蜀*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及无掩模曝光的技术领域，尤其涉及一种实现超高速曝光的设备，该设备包括光学部，所述光学部包括DMD微镜器、N个光学镜组，N个所述光学镜组阵列设置在DMD微镜器正前方，设定DMD微镜器在每一行光刻时与待处理部件相对移动的方向为行方向，所述光学镜组的阵列方向与行方向相同，DMD微镜器经过N个光学镜组后在列方向形成N个连续条带的图像数据。本发明中使用光学镜组，使一个类似方形的DMD微镜器形成的图像数据在列方向成倍数增加，这样虽然单行光刻的时间增加，但是降低了待处理部件行方向的反复次数，并且也降低了DMD微镜器在列方向上的运动次数，从而提高了效率，并且降低了DMD微镜器的在列方向阵列的数量，从而降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实现 超高速 曝光 设备 | ||
【主权项】：
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