[发明专利]一种石墨舟饱和的工艺方法

摘要

本发明公开一种石墨舟饱和的工艺方法，包括如下步骤：1）将石墨舟送进炉管；2）抽真空，通入氮气15slm，温度升至420℃；3）抽真空，通入氮气15slm，时间300秒，再抽真空，重复三次后恢复真空；4）通入氨气5slm，温度控制在450 460℃，预沉积300秒；5）抽真空，通入硅烷和甲烷，持续放电5000‑11000秒；6）抽真空，通入硅烷和氨气，持续放电200秒；7）停止通气，抽真空，至压力达到30mTorr时，通入氮气15slm，再抽真空，重复两次后恢复；8）卸舟。采用本发明的方法，石墨舟镀碳化硅和氮化硅的叠加层，石墨舟舟片更加致密平整具有优良的导热性能和电场的均匀性，使得工艺过程中的电池片膜色更加均匀一致，对电池片返工率和良率提升有明显增益。