[发明专利]一种超反射镜有效
| 申请号： | 201911373469.9 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN111048226B | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 王孝东;陈波 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G21K1/06 | 分类号： | G21K1/06 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供一种超反射镜，其包括基底，所述基底为熔石英，在所述基底上交替叠加铱膜和碳化硅膜，使用铱和碳化硅两种材料组成多层膜，靠近所述基底侧的膜为碳化硅膜，最外层膜为铱膜。所述铱膜和所述碳化硅膜交替设置的结构形成若干组周期多层膜。与现有技术比较本发明的有益效果在于：本发明提供了一种超反射镜，该超反射镜在大掠入射角条件下，在0.2‑10keV波段有较高的反射率。该超反射镜具有较好的角度容忍度，降低了装调的难度。与单层膜或者两层膜相比，具有明显的优势。选用的材料为磁控溅射常用的材料，易于制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 反射 | ||
【主权项】：
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