[发明专利]一种超反射镜在审
| 申请号： | 201911373681.5 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN110931144A | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 王孝东;陈波 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G21K1/06 | 分类号： | G21K1/06 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供一种超反射镜，其包括基底，所述基底为熔石英，在所述基底上交替叠加钨膜和硅膜，靠近所述基底侧的膜为硅膜，最外层膜为钨膜，所述钨膜和所述硅膜交替设置的结构形成若干组周期多层膜。与现有技术比较本发明的有益效果在于：本发明提供了的超反射镜在0.2‑10keV波段具有较高的反射率。工作角度比较大，掠入射角可以为1.0°、1.4°和1.7°。超反射镜为多层膜结构，多层膜结构包括几个具有不同厚度的周期性膜，多层膜结构在制备时不需要精细的沉积速率控制，因此容易制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 反射 | ||
【主权项】：
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