[发明专利]晶圆研磨用头在审
| 申请号： | 201911376594.5 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN112658978A | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 持丸顺行;小林裕志;五十岚保成;上原幸夫;高冈和宏 | 申请（专利权）人： | 株式会社冈本工作机械制作所 |
| 主分类号： | B24B37/11 | 分类号： | B24B37/11 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 鹿屹;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供晶圆研磨用头，能提高晶圆研磨装置的生产性且实现研磨步骤的高效化。晶圆研磨装置(1)包括：卡盘机构，具备弹性体形成的橡胶卡盘(10)和刚体形成的刚体卡盘(11)；第一压力调整机构(23)，能向橡胶卡盘(10)附近供给空气；以及第二压力调整机构(24)，能向刚体卡盘(11)附近供给空气。晶圆研磨装置(1)通过切换第一压力调整机构的空气供给和第二压力调整机构的空气供给，而能切换加工方法。由此，能获得兼备橡胶卡盘方式的卡盘机构和刚体卡盘方式的卡盘机构这两个功能的晶圆研磨用头。因此，无需设置两个晶圆研磨用头，能提高晶圆研磨装置的生产性。另外，无需更换晶圆研磨用头的步骤，能实现研磨步骤的高效化。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 | ||
【主权项】：
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