[发明专利]一种用于碳化硅外延生长设备载盘的涂层制备方法有效
| 申请号： | 201911379934.X | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN111118599B | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 胡强;胡琅;冯杰;徐平;侯立涛;方威;黄星星 | 申请（专利权）人： | 季华实验室 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12;C30B29/36 |
| 代理公司： | 佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377 | 代理人： | 陈志超;黄家豪 |
| 地址： | 528200 广东省佛山市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于碳化硅外延生长设备载盘的涂层制备方法，包括步骤：A.制备SiC凝胶溶胶；B.把SiC凝胶溶胶装入喷机中预热至150℃～250℃；C.将SiC凝胶溶胶喷射到石墨载盘所有表面并自然干燥24小时；D.将石墨载盘装入烧结炉中在1600℃～1800℃、压力550托～650托、氢气环境中烧结2小时，然后自然冷却到室温；E.将石墨载盘表面的SiC涂层进行整形、打磨；F.按预设次数重复执行步骤B～E。该方法制得的SiC涂层的抗热震能力强、使用寿命长，且制备成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 碳化硅 外延 生长 设备 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
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