[发明专利]薄膜体声波谐振器在审
申请号: | 201911380188.6 | 申请日: | 2019-12-27 |
公开(公告)号: | CN111404509A | 公开(公告)日: | 2020-07-10 |
发明(设计)人: | 窦韶旭;吴珂;韩琦;王超;庄玉召;程诗阳;张丽蓉;杨帅 | 申请(专利权)人: | 瑞声科技(新加坡)有限公司 |
主分类号: | H03H9/15 | 分类号: | H03H9/15;H03H9/17;H03H9/02;H03H9/13 |
代理公司: | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人: | 谷孝东 |
地址: | 新加坡卡文迪*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供了一种薄膜体声波谐振器,包括第一电极、定位于所述第一电极上方的第二电极及在所述第一电极与所述第二电极之间的压电薄膜,设于所述第一电极下方的衬底和声反射结构、设于所述第二电极上方的刻蚀停止层和设于所述刻蚀停止层上方的质量负载层;所述声反射结构、所述第一电极、所述压电薄膜与所述第二电极的投影重叠界定一有效区域。与现有技术相比,本发明保证了器件高Q值,又保证了第二电极和质量负载层框形结构的膜厚一致性,从而提高了器件电参数的一致性。 | ||
搜索关键词: | 薄膜 声波 谐振器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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