[发明专利]驱动装置、介电弹性体致动器及其制作方法在审
| 申请号： | 201911380485.0 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN111129283A | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 杨桂林;张昊;张驰;谷乐丰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | H01L41/047 | 分类号： | H01L41/047;H01L41/09;H01L41/29;H02N2/02 |
| 代理公司： | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 | 代理人： | 龙伟 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种驱动装置、介电弹性体致动器及其制作方法。其中，本申请提供的介电弹性体致动器采用液态金属作为电极，从而可以采用镀膜工艺将液态金属附着于介电弹性体的两侧表面来制作该介电弹性体致动器。通过本申请，解决了相关技术的介电弹性体致动器驱动迟滞大，稳定性低的问题，降低了电极层厚度、降低了介电弹性体致动器驱动迟滞时间、减小了电极层刚性对介电弹性体的影响，还提高了介电弹性体致动器的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 驱动 装置 弹性体 致动器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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